معمولاً سطح تصفیه هوا ماشینکاری فوق دقیق باید به ۱۰~۱۰۰۰۰ برسد. تمیز کردن رایج ترین روش تصفیه هوا است، و کارگاه فرآوری تصفیه شده را اتاق تمیز یا اتاق فوق تمیز می نامند. به طور کلی، دو نوع اصلی تصفیه وجود دارد، یکی تصفیه کلی و دیگری تصفیه محلی است. تصفیه محلی اقتصادی است، و تصفیه با اجازه دادن به فشار مثبت هوای پاک برای جریان به مناطق پردازش محلی مانند نیمکت کار، جلوگیری از ورود هوای خارج به دست می آورد. از آنجا که مو و لباس کار کارکنان ممکن است گرد و غبار به ارمغان بیاورد، قبل از ورود به کار، کارکنان باید در فضای باز تمیز و جایگزین لباس های ویژه، و مرطوب توسط باد، به طوری که به طور موثر جلوگیری از تاثیر گرد و غبار بر کیفیت پردازش.
تجزیه و تحلیل تاثیر مکانیسم پردازش این است که فناوری های جدید و تجهیزات جدید در سال های اخیر در حال ظهور بوده اند و ماشینکاری دقیق نیز باید به افزایش تلاش های تحقیقاتی و کشف روش های پردازش جدید ادامه دهد. از نظر ماشینکاری سنتی، ماشینکاری فوق العاده دقیق، ماشینکاری با سرعت بالا دقیق، سنگ زنی دقیق کمربند، ماشینکاری ساینده و غیره ابزارهای الماس به نتایج خوبی دست یافته اند؛ از نظر ماشینکاری غیر سنتی، پرتو لیزر، پرتو الکترون و پرتو یونی و دیگر ماشینکاری دقیق پرتو با انرژی بالا، ماشینکاری مافوق صوت، ماشینکاری تخلیه الکتریکی و ماشینکاری الکتروشیمیایی مزایای آشکاری دارند، به ویژه کاربرد روش های ماشینکاری ترکیبی، مانند هونینگ مافوق صوت، آسیاب الکترولیتی و دیگر فناوری ها. اهمیت توسعه دستیابی به موفقیت آن نهفته است در عملکرد اصلی در پیشنهاد روشن از پردازش حذف، ادغام موثر پردازش و تغییر شکل پردازش، به خصوص مزایای نمونه سازی سریع پردازش فوق العاده، نقش بسیار مهمی در ترویج توسعه فن آوری پردازش است.
در واقع هدف از ماشینکاری فوق دقیق رسیدن به حد پردازش است. با گذشت زمان، با توسعه علم و فناوری، این محدودیت نیز در حال تغییر است که نیاز به اکتشاف و تحقیق درازمدت دارد. بنابراین نحوه پایبندی به «اصل ماشینکاری تکاملی»، با استفاده از تجهیزات مکانیکی با دقت ماشینکاری پایین تر، استفاده از فناوری فرایند پیشرفته، سرو کامپیوتر، ابزارهای اندازه گیری ویژه و غیره، می تواند به طور مستقیم و غیر مستقیم نیازهای تولید را برآورده کند، و مستقیماً بر ماشین کاری دقیق یا قطعات ماشین کاری فوق دقیق کیفیت کلی تأثیر بگذارد. بدیهی است که مکانیزم ماشینکاری پایه و اساس روش ماشینکاری، کلید توسعه فناوری ماشینکاری فوق دقیق و نوآوری نظری است و نقش مهمی در اثر کلی ماشینکاری قطعات ایفا می کند. با توسعه صنعت صنعتی، فناوری های جدید و تجهیزات جدید به طور مداوم نوآوری می شوند و سطح دقت ماشینکاری تا حد زیادی بهبود یافته است.
تکنولوژی ماشینکاری دقیق فوق العاده cnc به تدریج به یک تجلی ملموس از قدرت جامع ملی تبدیل شده است، و نیروی محرکه برای توسعه فناوری برش لبه، دفاع ملی، میکروالکرونیک و صنایع دیگر است. بنابراین تحقیقات عمیق در مورد مکانیسم پردازش، مواد پردازشی، تجهیزات پردازشی و سایر عواملی که بر کیفیت قطعات ماشینی فوق دقیق تأثیر می گذارد، برای کاهش مداوم خطاهای ماشین کاری و بهبود دقت ماشین کاری قطعات انجام می شود تا نیروی محرکه قابل اعتمادی برای اجرای استراتژی توسعه یک نیروگاه صنعتی فراهم شود.